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石墨舟清洗机工作原理

作者: 来源: 日期:2022/10/28 9:40:54 人气:917
  石墨舟清洗机主要设备分为4个清洗槽,2个内槽为酸洗槽,2个外槽为水洗冲洗槽。机器内部装有2套机械手,用于将石墨舟在不同槽之间移动。整机的前后装都开有可上下移动的有防护隔离门,隔离门采用透明PVC板制成。
  工作原理为:
  用酸溶蚀石墨舟表面的杂质。其中先用酸洗槽酸洗,再用水洗槽水洗,洗去表面的酸和残留物。推测使用的酸为盐酸,因为盐酸能溶解大多数离子和杂质,但不会是硝酸,因为硝酸具有强氧化性,能溶解含碳物质,若用硝酸酸洗,那么石墨舟也会受到蚀损。
下一个:全自动硅片清洗机主要特点
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